産品中(zhōng)心您現在的位置：首頁 > 産品展示 > 工(gōng)業測定、測量用品 > 東京精密 > 東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX

東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX

簡要描述：

東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX
抛光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X

咨詢電話(huà)：0755-28286052

分(fēn)享到：

東京精密ACCRETECH抛光機PG3000RMX

抛光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X

PG3000RMX特征：

除了“PG300/PG200"工(gōng)藝之外(wài)，還實現了從薄化晶圓上貼附的表面保護膠帶剝離(lí)到将晶圓貼附到切割框上的工(gōng)藝，在一(yī)台設備中(zhōng)實現。

粗磨、精磨、抛光工(gōng)序用一(yī)台設備實現晶圓的雙面清洗。無需使用化學品即可去(qù)除受損層。不會因濕法工(gōng)藝而産生(shēng)粉塵。

數據管理和通信，包括與傳輸機制一(yī)緻的RM模塊，以限度地減少薄晶圓傳輸的數量。

高剛性磨床HRG3000RMX特征：

實現短時間内無損傷加工(gōng)。加工(gōng)成本低。高精度加工(gōng)。達到鏡面效果。

高剛性磨床HRG300/HRG300A特征：

通過将加工(gōng)點配置在三角形排列的滑動導軌的中(zhōng)心位置，并将橫向進給進給軸配置在加工(gōng)點上，具有對磨削負荷的機械變形小(xiǎo)的結構。

由于其高剛性，它可以在短時間内加工(gōng)，同時抑制磨削損傷。

由于其高剛性，可以進行适當的自銳性加工(gōng)。延長砂輪的使用壽命。

配備用于批處理的過程中(zhōng)測量儀，在批處理過程中(zhōng)測量晶圓厚度。

全自動高剛性二軸磨床HRG200X特征：

實現短時間内無損傷加工(gōng)。

加工(gōng)成本低。

高精度加工(gōng)。

達到鏡面效果。