TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

SiC功率器件熱處理設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

清洗機M300,M800；ALD設備SAL1000

活化退火(huǒ)設備Ailesic-2000特征：

支持2000°C的SiC激活退火(huǒ)。

新開(kāi)發的加熱技術實現了超快速加熱和冷卻特性。

滿足客戶對小(xiǎo)批量短時間處理的需求。

通過相同的加熱技術和高精度溫度控制技術實現穩定的工(gōng)藝性能，有助于穩定生(shēng)産。

從開(kāi)發到6英寸高産能量産的豐富陣容。

在大(dà)規模生(shēng)産工(gōng)廠中(zhōng)的良好運營記錄。

應用：活化退火(huǒ)。

CMP漿料供應系統的特點：

并聯供電系統穩定供電。通過觸摸屏輕松操作。

高精度複合（可從多種複合方式中(zhōng)選擇複合方式。）。

自動沖洗功能。透明内膽，内部狀态一(yī)目了然。

化學恒流量控制裝置概述：

化學恒流控制裝置主要用于CMP漿料的供給，也可用于純水、氫氟酸等多種化學物(wù)質的混合。

與傳統的使用稱量罐和混合罐的批量式供應設備相比，該機組具有：

1. 在線混合限度地減少化學品消耗

2. 批量供應設備無需清洗罐

3. 設備尺寸可以減小(xiǎo)

M300是一(yī)款半自動FOUP/carrier 清洗機，結構緊湊，可一(yī)次處理大(dà)量工(gōng)件。可處理晶圓載具、SMIF POD、各種傳送箱、300mm用FOUP、FOSB、RSP及各種工(gōng)件。這是一(yī)種批量處理型清潔/幹燥設備，其中(zhōng)工(gōng)件被設置在安裝在腔室内被稱爲柱的架狀框架上的插入物(wù)中(zhōng)，然後在旋轉的同時進行清潔和幹燥。刀片的形狀因工(gōng)件而異，隻需輕輕一(yī)按即可更換，因此可輕松切換對象工(gōng)件。

特征：高容量/小(xiǎo)占地面積。

超淨噴霧系統。擁有成本低。

用于幹燥的紅外(wài)線加熱器系統。

通過一(yī)鍵式更換刀片支持各種工(gōng)件。

SAL1000 ALD設備是一(yī)款可安裝在桌面上的緊湊型研發設備。

内置兩種前驅體(tǐ)，沉積性能在φ100以内±3%（AlO3）以内。

此外(wài)，通過使設備更緊湊，我(wǒ)們減少了零件數量。

特征：

沉積過程可以在前觸摸屏上設置，壓力和操作狀态可以檢查。

從抽真空到成膜的設定過程自動進行，成膜完成後，按下(xià)排氣按鈕即可取出基闆。

配備2個前驅體(tǐ)系統，兼容基闆高達φ4"。