IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1

IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1

IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1

OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5

顯微分(fēn)光膜厚儀OPTM系列特征:

薄膜厚度測量所需的功能集成在測量頭中(zhōng)。

使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量。

每1秒以内的高速測量。

實現顯微鏡下(xià)寬測量波長範圍的光學系統。

區域傳感器安全機制。

一(yī)個簡單的分(fēn)析向導，即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分(fēn)析。

配備可自定義測量順序的宏功能。

支持各種自定義。

Opt-scope是一(yī)種白(bái)光幹涉顯微鏡(非接觸式三維表面粗糙度/形狀測量儀),能夠在所有鏡頭放(fàng)大(dà)倍率下(xià)以0.01nm的高分(fēn)辨率進行高速測量。從窄範圍内的精細粗糙度測量到寬範圍内的起伏形狀測量,可以在廣泛的測量條件下(xià)進行亞納米級表面紋理測量。帶有可選電動XY載物(wù)台的拼接功能可實現更寬範圍的測量。

自動薄膜測量裝置Auto SE特征:

非接觸式無損測量,不會損壞樣品；

可在1nm至15μm範圍内評估膜厚；

還可以評估材料的光學常數(折射率 n、消光系數k)；

也可以評估單層和多層結構；

支持小(xiǎo)至100μm見方的微小(xiǎo)區域的測量；

标配電動XYZ載物(wù)台,支持面内分(fēn)布測量；

實現樣品表面狀況和測量位置的可視化。

線掃描膜厚測試儀TI系列特征:

采用線掃描方式實現無"遺漏"的全面薄膜檢測

膜厚測量範圍:0.7～300μm；

10ms獲取500mm寬度1mm間隔數據；

作爲薄膜厚度測量專業制造商(shāng)的全面支持；

可進行高速高精度測量；

使用抗抖動的光學系統；

可處理寬樣品(可測量TD方向最長10m)；

硬件和軟件的原創設計。

VS1800納米三維光學幹涉測量系統利用光幹涉現象測量微小(xiǎo)的表面輪廓，實現高性能薄膜、半導體(tǐ)、汽車(chē)零部件和顯示器行業所需的高精度測量。此外(wài)，還可以非破壞性地測量多層薄膜的層結構和層内的異物(wù)。

工(gōng)業廣角共聚焦顯微鏡Smartproof 5通過采用圓盤共聚焦技術，與傳統激光顯微鏡相比，它在保持高分(fēn)辨率的同時實現了壓倒性的高速成像。高清4兆像素攝像頭以50fps的高速平面内掃描捕獲2048x2048像素。