MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自适應/PID/混合動力3種類型中(zhōng)選擇控制方式，确保半導體(tǐ)/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應答、高再現性的真空壓力控制。也可以通過前面闆進行設定，操作性非常容易。另外(wài)，由于CE标志(zhì)、RoHS對應産品，被世界上所有産業的量産設備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R将制造裝置中(zhōng)的真空室進行真空排氣時，通過改變閥門電導，作爲控制真空排氣速度的下(xià)遊壓力控制裝置使用。

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